Informace o projektu
Vyvoj monitorovacích in-situ technologií pro řízení pokročilých procesních systémů pro povrchy a materiály
- Kód projektu
- OK 138
- Období řešení
- 6/1995 - 12/1998
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- EUPRO (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Vývoj monitorovacích technik pro pokročilé vakuové aparatury. Elipsometrie, rastrovací tunelová mikroskopie a hmotová spektroskopie. Procesní elipsometry s více vlnovými délkami světla. Vývoj programového vybavení pro procesní elipsometrii.