Informace o projektu
Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
- Kód projektu
- GA202/98/0988
- Období řešení
- 1/1998 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Pavel Pokorný
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
Cílem je formulace nových teoretických přístupů umožňujících v rámci perturbační a difrakční teorie vyjádřit vztahy pro optické charakteristiky drsných systémů v koherentně i nekoherentně rozptýleném světle. Teoretické výsledky budou srovnány s výsledky měření provedenými pro vybrané vrstevnaté systémy. Dalším cílem je vývoj analytických metod dovolujících určovat optické a statistické parametry drsných vrstevnatých systémů. Dále bude provedeno srovnání nové metody perturbační teorie a teoretických přístupů používaných pro popis interakce rtg záření s drsnými vrstevnatými systémy. Budou zkoumány možnosti využití tohoto optického přístupu v rtg oblasti. Kombinace optických a rtg metod bude použita pro úplnou analýzu různých vrstevnatých systémů.
Publikace
Počet publikací: 34
1999
-
Měření drsnosti povrchu ve strojírenství vybranými metodami koherenční optiky
Jemná mechanika a optika, rok: 1999, ročník: 44, vydání: 9
-
Optical characterization of multilayer systems with randomly rough boundaries
18th Congress of the International Commision for Optics: Optics for the Next Millennium, rok: 1999
-
Optical methods for surface characterization
11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, rok: 1999
-
Optical quantities of multilayer systems with correlated randomly rough boundaries
Journal of modern optics, rok: 1999, ročník: 46, vydání: 14
-
Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness
Jemná mechanika a optika, rok: 1999, ročník: 44, vydání: 10
-
Úplná optická charakterizace neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev pomocí víceúhlové elipsometrie
Jemná mechanika a optika, rok: 1999, ročník: 1999, vydání: 2
1998
-
Analysis of thin films with slightly rough boundaries
Mikrochim. Acta, rok: 1998, ročník: Suppl. 15, vydání: 1
-
Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness
Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy, rok: 1998
-
Ellipsometric parameters and reflectances of thin films with slightly rough boundaries
Journal of modern optics, rok: 1998, ročník: 45, vydání: 5
-
Ellipsometry of thin films
Acta Physica Slovaca, rok: 1998, ročník: 48, vydání: 4